Equipments

Equipment of the technological platform

Salle Blanche (ISO7 et ISO6)

Zone litho 2

  • Mask aligner MJB4
  • Mask aligner UV Kub 3
  • Litho laser Dilase 650
  • 2 lab-spin 6

Zone dépôt

  • Evaporateur Auto 500
  • Sputtering/PECVD
  • Métalliseur Cress. 108A
  • Plasma Diener Pico O²

Zone caractérisation

  • Profilomètre à stylet
  • Profilomètre optique NT9100
  • MEB TM3030
  • Ellipsomètre Uvisel

Zone Chimie

  • 1 sorbonne cleaning
  • 1 sorbonne etching

Salle Grise (ISO 8 et ISO 7)

Zone matériaux

  • Presse chauff. hydrau. SCAMEX 3T
  • Presse chauff. Hydrau. manuelle Specac
  • Lamineuse RLM 419
  • Four à verre (1300°C)
  • 4 hottes flux laminaires

Zone microfabrication

  • Plasma cleaner FEMTO
  • UVO-cleaner Jelight
  • Imprimante à masques souples Filmstar+
  • 3 postes PDMS
  • 3 postes NOA
  • Imprimante 3D Form 2

Zone caractérisation

  • Rhéomètre MCR 302
  • Microscope FT-IR
  • Profilomètre optique

Zone litho 1

  • UV KUB2
  • Lamineuse Linea 360
  • Lab spin 6
  • UV LC8 Lightningcure

Salle de microscopie

  • 1 confocal TCS SP8 CSU mini incubateur
  • 2 Videomicroscopes DMi8 sous incubateur
  • 1 Spinning CSU-X1- sous incubateur
  • 1 incubateur CO2
  • 2 contrôleurs de pression

Fablab

  • Micro-fraiseuse Minitech
  • Graveuse laser + sableuse
  • Station de travail
  • Cutting plotter

Culture cellulaire L2

  • PSM
  • Microscope Fluo
  • Centrifugeuse
  • 2 Incubateurs CO2
  • 3 congélateurs (-20°C, -86°C, -150°C)

Chambre froide

  • Machine à glace
  • 1 congélateur -20°C
  • Chambre froide
  • Incubateur sans CO2
  • 2 Infors
  • 1 Centrifugeuse MultifugeX1R

Biofab

  • Technologie de photopatterning Primo sur statif Nikon
  • 1 Leica DMI à éclairage cool LED couplé contrôleur de pression et vannes externes

Salle de TP

  • 6 Leica DMI
  • 6 contrôleurs de pression
  • 3 stations de travail Metamorph et confocal

Le lavoir

  • Autoclave
  • 2 lave-vaisselles

Autres équipements

  • Plasma Patm
  • Cytomètre de flux
  • Zeta Sizer
  • Bioanalyzer
  • GC-MS & Micro GC
  • Mesure d’angle de contact
* Les équipements décrits en rouge ne sont pas accessibles aux extérieurs.